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准分子激光器
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    北京琅东科技有限公司 http://www.langdongtech.com/

    准分子激光器指标:

    介质气体

     ArF

     KrF

     XeCl

    波长(nm)

    193

    248

    308

    最大单脉冲能量(mJ)

    10

    15

    10

    平均功率(W)

    1.6

    2.4

    1.6

    最大重复频率 (Hz)

    200

    脉冲宽度 (ns)(FWHM

    15

    能量稳定性(sigma)

    2%

    光斑尺寸(mm)(V×H,nominal)

     6×3

    发散角(mrad)(V×H,nominal)

    3×1.5


    193nm 光刻光源优势

    为什么工业界一直用193nm光源做光刻,不是说光刻光源波长越短分辨率越高么?

    193nm光刻机依然是主流。

    理论上来讲光刻分辨率R=K(波长λ/光学数值孔径NA)波长越小分辨率越好。

    一种EUV的波长理论上可以低到13nm,这可比193nm小多啦。但是EUV的电源有足球场那么大,做芯片的车间要用这么大的空间难度很大。

    另一种X-ray不能实时监控,做完直接看效果。对于高精尖的芯片来说实时操作对员工身体的损害显而易见。

    目前在193nm上进一步应用的办法有:

    多层重叠技术,实际R=分辨率R1/层数N。

    增加光折射率。把光刻环节放到磷酸溶液中,比原来的空气中分辨率提高1.54倍。

    下一步是EUV胜出还是193nm有了更进一步的分辨率提高?

    期待。。。。。。


    公司主要产品:液晶修复激光器及系统,1um精细激光剥蚀系统,自动对焦激光系统,准分子激光系统,OPO激光器,PIV激光器。

    755nm,694.3nm,532nm,激光器

    425nm,355nm,308nm,激光器

    266nm,213nm,193nm,激光器

    Welcome to discuss Laser design and Laser maitenance

    公司对外承接激光器订制,手动系统的自动化改造,维修准分子激光器,ATL准分子激光器维修,coherent准分子激光器维修。


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