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LIBS系统
产品名称:LIBS系统 产品描述:  设备功能:  多波段(可见光、红外、紫外)激光系统主要用于将样品表面采样,而不影响基底性能。主要用于煤炭,金属,矿物,石油,气体,TFT、FPD(LCD、PDP... 手机 13552311591
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    设备功能:

      多波段(可见光、红外、紫外)激光系统主要用于将样品表面采样,而不影响基底性能。主要用于煤炭,金属,矿物,石油,气体,TFT、FPD(LCD、PDP、OEC)、半导体器件、PCB板的激光采样测量。多波段(可见光、红外、紫外)激光系统可用于多种材质。

      设备技术指标:

      多波段(可见光、红外、紫外)激光激光系统的工作部件包括4部分:激光系统,长工作距离工业Leica光学系统,面板三维运动台和连线样品系统。

      1,激光系统

    多波段(可见光、红外、紫外)激光激光系统的激光系统提供多波段(266 nm349 nm355 nm457 nm460 nm462 nm 473 nm488 nm491 nm500 nm532 nm543 nm556 nm561 nm589 nm593 nm633 nm635 nm656 nm660 nm671 nm, 808 nm980 nm)脉冲激光输出,可根据客户需求定制各个波段脉冲激光。

      1064nm波段脉冲激光:最小加工尺寸:2μm

      532nm波段脉冲激光:最小加工尺寸:1μm

      355nm波段脉冲激光:最小加工尺寸:1μm

      激光光斑旋转:±90°

      工作模式:1单次击打模式,2连续击打模式,3Burst模式

      2,长工作距离Leica光学系统

      多波段(可见光、红外、紫外)激光系统的长工作距离Leica光学系统用于观察被激光样品表面,定位激光区域,Leica光学系统的物镜能够改变脉冲激光光斑的大小,激光多种尺寸的选择。

      长工作距离Leica光学系统的配置要求如下:

      连续变倍焦:1,

      Leica光学系统Z轴移动特性:同轴旋钮调节行程,电动聚焦模块,行程50μm,移动精度优于0.2μm

      接口:CCD接口,激光器接口

      照明光源:150W高功率白色照明灯源(亮度可以无级调节)

      目镜倍率:10

      物镜倍率(工作距离):2(34.0mm),10(33.5mm),20(20mm),50(20.5mm),近紫外物镜50(20.5mm),近红外物镜100(13mm)

      驱动:四孔电动鼻轮

      3,面板三维运动台

      面板三维运动台用于承放固定被激光的面板,其配置要求如下:

      载物台尺寸:500mm*100mm

      电源:2200V50Hz200W

      空气需求:120PSI

      真空需求:240mmMercuryHight

      载物台旋转角度范围:0-5°

      载物台旋转精度:0.1°

      Leica光学系统X-Y-Z方向的电动行程:50mm-50mm-5mm

      Leica光学系统X-Y-Z方向龙门控制方式:按键控制

      Leica光学系统移动速度:低、中、高、超高四档速度;

      Leica光学系统最大移动速度:100mm/s

      Leica光学系统最小移动速度:0.1mm/s

      Leica光学系统移动精度:0.2μm

      防震桌尺寸:2700cm×1700cm

      防震桌承重:约200Kg

      探针座平台数量:2(左×1,右×1)

      探针座数量:4

      探针座底座类型:磁力吸附型

      探针座X-Y-Z的直径运动行程:12mm-12mm-12mm(40牙/英寸)

      探针可调节点测角度:0-30°

      探针夹具:三轴接口管状夹具

      漏电精度:100fA(配合屏蔽箱)

      4,连线样品系统

      探头三维可调,x-y-z行程10mm,移动精度0.5微米

      精度优于2微米

      带干燥系统


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